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DRM-3750旋转阴极(LOW-E镀膜)

                   solayer 旋转阴极.png

DRM-3750旋转阴极

♦ DRM孪生旋转阴极适用于大面积玻璃镀膜

♦ 即插式解决方案适用于现有系统

♦ 相同设备连接方式非常容易升级

♦ 靶材长度最长可到3850mm

♦ 最大功率可到400KW(每只靶最大200KW,直流、直流脉冲、中频最高达80KHZ)

♦ 适用于不同的靶材和靶管设计

♦ 气路系统最多可设计7路输入(气管采用分离的主/从气路设计)

可选件:

♦ 完整的打包配置,包括电源

♦ 可提供全面的硬件集成和工艺优化支持服务

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