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Gencoa阴极
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旋转阴极

Gencoa开发的GRS旋转阴极不同于市场上现有产品,采用小管径的磁管,尺寸非常紧凑,非常适用于现有平面阴极的升级改造。Gencoa同时也提供常规靶管的旋转阴极

ü  最佳的磁场设计,溅射角度小,保证最佳的靶材利用率及靶面清洁度

ü  GRS-V磁条可手动旋转,也可通过步进电机进行角度旋转

ü  针对不同的应用,设计平衡或者非平衡磁场等各种不同磁场

ü  独特的端头密封设计,至少5年的免维护,漏率1-5 x 10-9 mbar l/s      

ü  辅助阳极设计,稳定工艺过程,增强对等离子体的控制

ü  端头可承受高电流(GRS-C可达250A)                               

ü  集成气路控制均匀性,对反应溅射非常适用

ü  狗骨头式靶材利用率>85%,普通靶材>70%利用率

ü  快速换靶设计,可使用粘接或台阶靶材

ü  高冷却水流量对靶材直接冷却,冷却效果好

ü  现场工艺支持与调试服务

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     尺寸紧凑的端头                 辅助阳极                               等离子体形貌                                       静态阵列镀膜

旋转阴极配置情况及主要技术参数:

安装类型

GRS紧凑型

GRS-C悬臂安装

GRS-M内置式

GRS-V顶部安装

靶材外径

75,90,100/105mm

75,90,105,152-165mm

75,90,105,152-165mm

75,100/105,152mm

靶材长度

1.2m

纯悬臂0.7-1.5m

带外端支撑可到2.4m

垂直向上≤1.8m

水平带支撑≤2.5m

垂直≤1.5m

电源功率

40KW

180KW

60KW

80KW

电源类型

AC,DC,HIPIMS,Arc,RF+DC

法兰盘

单靶,双靶,客户定制

驱动电机

,恒交流,交流变频,西门子伺服电机,定制伺服电机,伺服变频电机

靶材

类型

喷涂靶材

AZO,Ag,Al,Al合金,Cr,Cu合金,ITO,Si,SiAl,Sn,Ti合金,Zn,Zn合金

粘接靶材

Ag,Cr,ITO,NiCr,SiAl,Sn,Ti合金,Zn合金

台阶靶材

Al,Al合金,Cu合金,Nb,NiCr,SS,Ti

主要

磁场

类型

标准

采用平衡磁场,靶材表面磁场强度约550Gauss

非平衡

可用于高品质的装饰镀和硬质膜

DLIM-AC

用于反应溅射,克服阳极消失,可降低打火,降低基板加热效应并且改善镀膜的均匀性

DLIM-DC

通过附加活动阳极,减少对成膜的损坏,适用于ITO成膜以及卷绕镀膜。使用直流脉冲电源可长期稳定工作,降低成本

高磁场强度

用于低压强环境;低电压溅射比如陶瓷ITO靶材,可降低电阻率;用于溅射磁性材料靶材

HIPIMS

提供最佳的磁场适用于HIPIMS应用,优化溅射速率

多弧源

高电压低电流放电,提高靶材寿命

CVD

基于靶面的自清洁和长期稳定运行,非常适用于CVD

 
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