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英国Gencoa阴极
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矩形平面阴极

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真科(GENCOA)是英国一家专业做阴极和气体控制系统的公司, 尤其擅长磁场的模拟与设计,有丰富的阴极设计经验,其产品已广泛用于工业界和科研界。

ü  最优化的磁场设计,保证最好的靶材利用率和靶面清洁

ü  特殊的零高度差阳极设计,防止工艺过程中发生的短路,并且有效减少颗粒及缺陷的产生

ü  针对不同工艺和靶材专门设计不同磁场

ü  每只阴极都采用RF标准的绝缘配置,保证在大功率条件下的电气特性稳定

ü  采用集成阳极的设计,阳极罩上集成气路,保证最好的均匀性

ü  采用高效的间接冷却方式,不仅保证可以大功率下使用,并且在换靶时不用破坏水密封和真空密封,减少换靶所用的时间,并且采用快捷接头,方便可靠

ü  磁条没有水接触,可保证10年的使用期

ü  靶材卡箍采用M8螺丝,不采用螺套嵌入主体,保证坚固及使用可靠性

ü  采用2通道进水和出水,保证高效冷却

ü  快速回应,2D3D图纸可以在Gencoa网站上下载

ü  多环节的质量检查控制,制造过程符合ISO9000标准

 

矩形平面阴极标准产品分类:

磁场类型

特点

靶材利用率

应用

SW

标准平衡磁场

25-30%

单跑道普通溅射

PP

标准非平衡磁场

25-30%

单跑道非平衡溅射,可用于离子辅助沉积

HY

高利用率磁场

40-50%

多阵列磁铁设计,提高靶材利用率

VT

平衡及非平衡可变磁场

25-40%

研发领域调整磁场平衡度

FFE

全表面刻蚀磁场

40-60%

全表面刻蚀保持靶材表面清洁和减少缺陷

LP

磁性靶材专用磁场

25-40%

溅射FeCoNi等磁性靶材

HS

高磁场强度磁场

25-30%

用于低气压、低溅射电压的磁场设计,如ITO

RF

射频专用磁场

25-30%

针对射频设计的低磁场强度设计

MZ

厚靶专用磁场

50-60%

厚靶金属用磁场设计

AS

孪生双阴极磁场

见上

反应溅射用

 

标准阴极宽度:40mm,50mm,65mm,75mm,89mm,100mm,125mm,150mm,200mm,250mm,300mm

标准阴极长度:50mm递增,可定制长度,但是费用会增加 

对于客户现有其他品牌阴极,Gencoa可提供针对性的升级改造服务,提升阴极性能

 

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