欢迎光临上海镨赢真空科技有限公司 !!   设为首页 | 加入收藏 | 联系我们
公司另有库存电源和真空泵及Polycold销售2013-06-27
栏目导航 Navigation
英国Gencoa阴极
英国Gencoa离子源
英国Gencoa Speedflo控制器
韩国EN溅射电源
美国MC中频溅射电源
德国Solayer旋转阴极
二手电源销售业务
溅射电源维修业务
瑞典Midsummer柔性 CIGS交钥匙工程
地址:上海市浦东区民冬路166号恒鲁工业园区研发楼7楼
联系人:杨先生
电话:021-61062148
手机:15800534934
英国Gencoa阴极
您现在的位置:首页 > 产品展示 > 英国Gencoa阴极
平面矩形阴极

11           22      

 

1.最优化的磁场设计,保证最好的靶材利用率和靶面清洁;

2.特殊的零高度差阳极设计,防止工艺过程中发生的短路,并且有效减少颗粒及缺陷的产生;

3.针对不同工艺和靶材专门设计不同磁场;

4.每只阴极都采用RF标准的绝缘配置,保证在大功率条件下的电气特性稳定;

5.采用集成阳极的设计,阳极罩上集成气路,保证最好的均匀性;

6.采用高效的间接冷却方式,不仅保证可以大功率使用,并且在换靶时不用破坏水密封和真空密封,减少换靶所用的时间,并且采用快捷接头,方便可靠;

7.采用高品质可靠的原材料,完全英国制造;

8.靶材利用率高。

 

HONEYWELL HONEYWELL HONEYWELL HONEYWELL HONEYWELL
Copyright © 2013 All Rights Reserved 版权所有:上海镨赢真空科技有限公司     技术支持:中国迅网
公司地址:上海市浦东区民冬路166号恒鲁工业园区研发楼7楼     服务热线:021-61054619     crony_chenwei@163.com