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Gencoa阴极
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圆形平面阴极

Gencoa圆形平面阴极针对不同应用设计了相应的磁场,并且根据客户需求可以提供不同的机械配件。磁场类型包括(常用尺寸为2”, 3”, 4”, 5”, 6”, 8”, 10”, 12”, 14”, 16”)

ü  标准平衡/非平衡磁场(SW/PP)2-10英寸

ü  可变平衡度磁场(VT)2-6英寸

ü  高利用率磁场(HY)4-10英寸

ü  高均匀性磁场(HU)6-10英寸

ü  多环静态磁场(MRS)8-16英寸

ü  全表面刻蚀磁场(FFE)3-16英寸

ü  磁性材料磁场(MM)2-16英寸

机械配件包括:

角度调整,气路,射频选项,阳极冷却,手动挡板&气动挡板,防污染,馈通件以及隐藏阳极等

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针对市场的要求,Gencoa新近开发了第三代圆形平面阴极(2-5英寸),主要有如下优点:

ü  尺寸紧凑

ü  可进行45°角度调整

ü  使用标准尺寸靶材

ü  换靶容易

ü  可配置气路选项

ü  DC,RFHIPIMS都可兼容

 

ü  4”5”可配置HY选项

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对于光学以及半导体等领域,Gencoa推出了全表面刻蚀FFE圆形平面阴极,具有以下优势:

ü  通过调整转速来获得较高的均匀性

ü  靶材利用率高,可保证>40%

ü  使用时靶面清洁且无缺陷

 

ü  客制化,可在现有系统上升级改造

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