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Pneucleus流量计
SCI Engineered靶材
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Pneucleus流量计
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质量流量控制器

 Pneucleus公司是一家专业的质量流量控制器制造商,目前主要提供MicroFloMediFlo两个系列的质量流量控制器。主要的应用领域包括真空镀膜(磁控溅射,多弧镀以及CVD)、气相色谱分析(ICPFPD/PFPDFID)、元素分析、气体校准仪、气体监测及清洗工艺等。

通过InSitu-SenseTMTri-PlanarTM流量传感的卓越性能和控制技术,MicroFloMediFlo系列质量流量控制器拥有成本低、性能高的优势,专门用于控制除腐蚀气体外的所有气体。

Pneu01.png  Pneu02.png

采用直接感测方式进行质量流量控制,使纽克乐斯流量计能够避免常规高成本的旁路(bypass)传感技术设计。几乎所有其他流量计制造商都使用这些设计,包括用于隔离感应元件的腐蚀性气体的电抛光不锈钢气管,内部泄漏过大的大功率金属密封阀以及关键的旁路(bypass气管因其几何形状响应缓慢,易发生污染故障。通过避免这些设计,纽克乐斯能够以显著降低的成本提供一系列高性能质量流量控制器。

序号

主要性能项目

性能指标

1

精确度

±0.5%满量程(常规)

2

重复性&滞后

±0.15%满量程

3

温度系数

0.009% / ºC (21ºC 设定点)

4

响应时间

40ms(常规2%-100%满量程)

5

长期工作稳定性

0.2%满量程>7500小时连续工作时间

6

气体

任何非腐蚀性气体,客户指定

7

流量范围

任意,客户指定

8

压力范围

0-100Psi

9

漏率

内部10-5sccm,外部2x10-6sccm

10

输入电压

121518 24V

11

输出信号

0-5 VDC, 1-5 VDC, 4-20mA

12

控制方式

模拟,RS232Profibus (即将推出)

13

工作环境

0-50ºC5% - 95%湿度

14

密封圈

Viton(其它需要增加费用)

InSitu-SenseTM流量传感技术通过直接放置在气流中微芯片流量传感器测量气体流量。 这种直接感测技术可探测无穷小的热质量变化而立即响应产生流量变化,而上游和下游传感元件的极其接近最大程度上避免了由热/压力梯度引起的共模误差。这一新技术的采用,使得纽克拉斯流量计响应时间做到毫秒级。

Tri-PlanarTM比例阀采用三角弹簧设计,产生110/英寸的弹簧刚度,并获得对弹簧材料惊人的30%的屈服强度。这种设计产生10,0001的调节比,并在稳定的抗振设计中提供无与伦比的流量控制分辨率。 获得专利的热补偿机制避免了弹性体热膨胀引起的漂移,同时保持内部泄漏率底和一致性。

 

当您准备花高价购买市场上知名大品牌流量计时,请与我们联系,纽克乐斯一定会给您一个更为完美的方案!

 

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