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上海镨赢真空将参加2017深圳全触展!2017-11-07
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EN溅射电源
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偏压电源

 电源型号及规格参数:

 

项目

规格参数

直流

直流脉冲

Hercules 10

Hercules 20

Hercules 20S

Hercules 30B

EnerPulse

5BHV

EnerPulse

10BHV

EnerPulse

16BHV

输入

3Ø 208/220/380V

3Ø 208/380V

3Ø 380V

3Ø 208/220/380V

3Ø 380V

点火

 

1500V

1400V

输出电压

300-1200V

250-1200V

400-800V

500-1000V

1000-1400V

1000-1400V

530-1150V

输出电流

8.3-33.3A

16.7-80A

25-50A

30-60A

5-6.5A

10-13A

17.7-35A

输出功率

10KW

20KW

20KW

30KW

5KW

10KW

16KW

输出频率

 

20-120KHz

弧能量

小于0.5mJ/KW

小于1.0mJ/KW

控制接口

RS-232 / RS-485 (可选 : DeviceNet, ProfiBus)

RS-232 / RS-485

尺寸

133(H)x483(W) x605(D)

177(H)x483(W)

x605(D)

重量

23.5Kg

30.5Kg

29Kg

35Kg

冷却

强制风冷

HONEYWELL HONEYWELL HONEYWELL HONEYWELL HONEYWELL
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