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上海镨赢真空将参加2017深圳全触展!2017-11-07
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EN溅射电源
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中频电源

 电源型号及规格参数:

 

项目

规格参数

EnerPulse 5 Duo

EnerPulse 10 Duo

EnerPulse 20 Duo

DMS 20

DMS 30

输入

3Ø 380V

3Ø 440V

3Ø 220/380V

3Ø 380/440V

输出电压

400-800V

400-600V

400-800V

输出电流

6.25-12.5A

12.5-25A

33.3-50A

25-50A

37.5-75A

输出功率

5KW

10KW

20KW

20KW

30KW

输出频率

20-50KHz

40KHz

20-40KHz

弧能量

小于1.0mJ/KW

小于3.0mJ/KW

控制接口

RS-232 / RS-485 (可选 : DeviceNet, ProfiBus)

尺寸

133(H)x483(W) x605(D)

177(H)x483(W)

x700(D)

177(H)x483(W) x605(D)_PGD

重量(Kg)

29.5Kg

40Kg

30.5kg+32kg

38.8kg+32kg

冷却

强制风冷

HONEYWELL HONEYWELL HONEYWELL HONEYWELL HONEYWELL
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