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上海镨赢真空将参加2017深圳全触展!2017-11-07
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EN溅射电源
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直流脉冲电源

 电源型号及规格参数:

 

项目

规格参数

EnerPulse

5

EnerPulse

10

EnerPulse

10LV

EnerPulse

10M

EnerPulse

20

Pulse20

ES20+PG20

Pulse30

ES30+PG30

Pulse40

2xES20+PG40

输入

3Ø 208/220/380V

3Ø 380V

3Ø 220/

380/440V

3Ø 220/380V

3Ø 380/440V

3Ø 220/380V

点火电压

1500V

输出电压

400-800V

300-650V,

400-800V

400-650V

400-800V

输出电流

6.25-12.5A

12.5-25A

15.4-33.3A

12.5-25A

30-50A

25-50A

37.5-75A

50-100A

输出功率

5KW

10KW

20KW

30KW

40KW

输出频率

20-150KHz

5-350KHz

20-100KHz

40-100KHz

40-80KHz

反向时间

DC mode,1.0-10.0us

1.0-5.0us

弧能量

小于1.0mJ/KW

控制接口

RS-232 / RS-485 (可选 : DeviceNet, ProfiBus)

尺寸

133(H)x483(W) x605(D)

177(H)x483(W) x655(D)

133(H)x483(W) x605(D)_PG

重量(Kg)

29.5Kg

40Kg

30.5+28Kg

38.8+32Kg

2x30.5+32Kg

冷却

强制风冷

HONEYWELL HONEYWELL HONEYWELL HONEYWELL HONEYWELL
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