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上海镨赢真空将参加2017深圳全触展!2017-11-07
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手机:15800534934
EN溅射电源
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直流电源

 电源型号及规格参数:

项目

规格参数

直流单输出

直流双输出

EnerStream

5

EnerStream

10

EnerStream

20

EnerStream

30

EnerStream

30H

EnerStream

60

EnerStream

5D

EnerStream

10D

输入

3Ø 208/

220/380V

220/380V

3Ø 380/440V

3Ø 440V

3Ø 380V

最大输出

800V

1200V

900V

800V

900V

点火

1500V

最大电流

12.5A

25A

50A

75A

55A

150A

12.5A/Ch

25A/Ch

输出功率

5KW

10KW

20KW

30KW

30KW

60KW

5+5KW

10+10KW

弧能量

小于0.5mJ/KW

小于0.2mJ/KW

小于0.5mJ/KW

控制接口

RS-232 / RS-485 (可选 : DeviceNet, ProfiBus)

尺寸(mm)

133(H)x483(W) x605(D)

177(H)x483(W) x655(D)

309(H)x483(W) x783(D)

133(H)x483(W) x655(D)

重量(Kg)

24.5

30.5

38.8

80

32

冷却

强制风冷

                       

 

注:最多可并联12台电源(1台主机+11台辅机),最大功率480KW(EnerStream 60 8台并联时)

 

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