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上海镨赢真空将参加2017深圳全触展!2017-11-07
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EN溅射电源
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EN电源特点

意恩(EN)是一家从事等离子体电源及智能电网开发研制的韩国企业,其等离子体电源广泛应用于半导体、平板显示器、太阳能、EMI、工模具等相关产业。主要产品包括各类直流电源,直流脉冲电源,中频电源,离子源电源,大气压下等离子体电源等。目前已经通过日本真空(ULVAC)的认证并批量采购电源。

ENaa.png ENbb.png

意恩电源主要有以下特点有优势:

ü  优异的电弧控制系统,电弧能量小于0.2mJ/KW

ü  采用基于下垂特性的稳定的拓扑结构,形成稳定的等离子体,性能优异

ü  宽的输出范围,可连接多种不同负载

ü  提供了多种用户接口,方便客户进行控制

ü  多台电源可进行并联运行,实现大功率输出,最多可并联12台电源

 

ü  全球销售及售后服务网络,快速响应客户需求

EN01.png EN02.png EN03.png

通过以下方法实现了电弧能量为0.2mJ/kW,从而溅射镀膜时,尽可能达到电弧影响最小化的目的:

电源内部采用了最小化的储能元件拓扑结构

电弧发生后,采用了施加200ns的逆电压程序

2.5us内电流达到零点

输出线的电感影响最小化       

 

以下为抑制电弧的波形实例:

EN04.png  EN05.png

 

测试条件:Al靶,EnerStream20电源,通入Ar,气压3.5×10-2 ~ 1.0×10-4 Torr

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