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德国Melec Hipims电源介绍2022-04-07
德国HSG CCP离子源
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CCP离子源

 

         离子源7.png                    

1. 离子源技术参数:     

►工作频率:13.56MHz; 27.12MHz; 40MHz;

►离子能量:20....~2000eV;

►设计合理,耐工艺污染;

►耦合方式:电容耦合;

►中性平行离子束;

►工作气体:所有气体,包括反应气体;

►等离子体源直接沉积薄膜(DLC);

►只有一个低成本的损耗件;

►无需配备昂贵的中和器;

►安装和维护简易方便;

 

2. 具体应用:

►等离子体辅助

►溅射

►清洁

►抛光

►刻蚀

►PECVD

 

3. 离子源种类:

►矩形离子源

离子源8.png

等离子体形状

离子源12.png

 

►圆形离子源

离子源9.png

等离子体形状

离子源10.png      离子源10.png

                                        聚焦                                                                                              发散                 

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