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上海镨赢真空将参加2017深圳全触展!2017-11-07
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Gencoa SPF&Optix
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多功能真空检测系统Optix

Gencoa新开发的OPTIX多功能真空传感器能够测量真空环境中单独气体的分压或者整体的压强,工作范围从102Pa10-4Pa,基本覆盖绝大多数的工艺环境。

使用OPTIX监测真空环境的好处:

ü  残余气体分析

ü  通过实时监测工艺真空环境,减少产品报废率

ü  进行工艺故障排除

ü  终点检测

ü  工艺控制

 1)放气补偿

 2)短期及长期的工艺稳定

 3)工艺优化

 

相较于目前市场使用的其他检测设备,比如RGAQuantus等,OPTIX有独特的优势:

ü  直接工作在最常规的工艺压力下

ü  无需昂贵及复杂的差压泵

ü  无需读取差压泵系统的虚假读数

ü  直接监测真空意味着可立即进行参数改变控制

ü  价格比RGA+差压泵便宜

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        OPTIX的工作原理是通过在工艺腔体安装多功能传感器,远程产生等离子体(使用意大利BDISCOM电源),通过微型CCD光谱仪给出频谱分析,再通过微控制器实现多种功能,包括压力监测、残余气体分析(RGA)、工艺故障排除、检漏以及工艺控制等。

 

OPTIX控制界面可与Speedflo CCD共享,控制软件有如下特点:

ü  内置原子和分子发射光谱数据库,自动识别和分类  

ü  自动频谱解析

ü  自动时间进展或用户自定义

ü  端点检测或工艺控制可定制触发

ü  全面的数据纪录及数据读取 

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