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上海镨赢真空将参加2017深圳全触展!2017-11-07
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Gencoa SPF&Optix
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闭式循环气体检测系统Speedflo

采用闭式循环控制,通过监测反应溅射的状态,获取监测信号并处理反馈控制信号。控制优化反应溅射的状态,从而获得最佳的沉积速率与膜层质量。目前有2通道和8通道两个型号。

SPF00.png SPF02.pngSPF03.png

Speedflo 有多种监测方式及控制方式可选:

ü  Target voltage靶电压

ü  Lambda sensor气体分压

ü  PEM等离子发射光谱                               

ü  PEM CCD全光谱

ü  Remote PEN(Penning PEM)远程等离子体发射光谱(潘宁规)

 

ü  HIPIMS

SPF04.pngSPF05.pngSPF06.png

Gencoa开发的Speedflo simulator具有动态仿真功能,可以模拟如增益参数、校准参数和系统参数等,是一款非常高效地调整工艺参数的有效软件。

Gencoa 已开发出Speedflo Autotuner具有自动调整工艺参数的功能,可辅助进行快速工艺调试

SPF07.png

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