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公司另有库存电源和真空泵及Polycold销售2013-06-27
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英国Gencoa Speedflo控制器
反应气体控制系统Speedflo

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规格:                   Speedflo8通道)                                             Speedflo Mini2通道)
采用闭式循环,通过监测反应溅射的状态,获取监测信号并处理反馈控制信号。控制优化反应溅射的状态,从而获得最佳的沉积速率与膜层质量。
 
Speedflo 有多种监测方式及控制方式可选:
监测方式
靶电压
●Lambda气体分压
●PEM CCD全光谱
●PEM – 等离子体发射光谱监测
●Remote PEN(Penning PEM)远程等离子体发射光谱(潘宁规)
 
控制方式 
反应气体流量
靶电压
靶材电源输出功率
气体分压
 
Speedflo控制器的优点:
●实际工艺调试时可以在现场调试也可以通过网络远程调试。
●新增的自动调节参数直到实现控制的功能大大缩短了调试时间,而且在产品使用上更加方便简洁。
 
下图为正在工作中的speedflo
 

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