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上海镨赢真空将参加2017深圳全触展!2017-11-07
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Gencoa离子源
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IM条形离子源

ion source.png  IM01.png

ü  优化磁场设计产生准直的等离子体,可于溅射压强下使用

ü  采用石墨阳极防止被溅射污染基板,可长时间使用

ü  所有的离子源采用RF标准的绝缘

ü  阴极阳极采用间接冷却,便于安装维护

ü  先进的离子能量控制,可方便切换聚焦或发散模式

ü  配合闭式循环控制系统,通过自动控制气体流量保证恒流输出

IM02.png IM03.png

型号

等离子长度(mm)

源长度(mm)

法兰长度(mm)

内置型

IM250-I

250

361

 

IM300-I

300

411

 

IM350-I

350

461

 

IM400-I

400

511

 

IM450-I

450

561

 

+50mm

+50mm

+50mm

+50mm

外置型

IM250-E

250

361

440

IM300-E

300

411

490

IM350-E

350

461

540

IM400-E

400

511

590

IM450-E

450

561

640

+50mm

+50mm

+50mm

+50mm

 

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