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手机:15800534934
YSR常压等离子处理设备
常压等离子体源Hi-Z Head

 除了研发生产射频电源及匹配器外,永信也提供常压等离子体源及设备,可用于多种常压环境下表面处理应用。可处理的基材包括PIPENPETPCBFPCFPCB、玻璃及金属等。

YSR01.png

Hi-Z Head等离子体源主要有以下特点:

ü  高阻抗等离子体源设计,有效解决射频电缆发热问题

ü  双电极等离子体源设计,相比单电极处理效率提高

ü  气体喷射设计,用气量减少

ü  整合型等离子体源设计,将匹配器集成于等离子体源中,设备更加紧凑简化

ü  均匀性优异

ü  长度范围覆盖300-2500mm

YSR02.png

Hi-Z Head等离子体源配合使用永信射频电源和匹配器,实现技术一体化有以下优势:

ü  针对自行设计的等离子体源,匹配器匹配稳定,速度快

ü  绑定等离子体源和射频电源及匹配器,总体成本降低

ü  核心装备厂家相同,产生问题时责任明确

ü  发生问题时,以综合性的技术知识迅速查明故障原因

ü  客服对应快速,维修费用降低

型号

HIZ-SBSH300

HIZ-SBSH800

HIZ-DBDH800

HIZ-SMDH800

HIZ-DMDH2500

工艺气体

Ar,O2和其它气体

输入电力

220V50/60Hz

射频功率

最大300W

最大1000W

最大1000W

最大3000W

最大5000W

射频频率

13.56MHz

等离子体源类型

阻抗升压器

含匹配器

等离子体源长度

300mm

800mm

2500mm

等离子体源尺寸

363x67x95.7

863x67x96.2

879x131x96.2

863x131x123.5

TBD

等离子体源重量

2.9Kg

6.35Kg

12.5Kg

15.5Kg

TBD

 

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