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上海镨赢真空将参加2017深圳全触展!2017-11-07
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地址:上海市浦东区民冬路166号恒鲁工业园区研发楼7楼
联系人:杨先生
电话:021-61062148
手机:15800534934
YSR常压等离子处理设备
射频电源及匹配器

韩国永信公司成立于1989年,主要专注于射频电源及匹配器和常压下等离子体源的开发,可根据客户的要求定制成套常压等离子体处理设备。

经过接近30年的发展,永信公司目前在韩国已经拥有3个厂区,产品均通过了CE等认证,并申请了多项专利。永信公司已经向中国、日本、东南亚以及美国等销售了多套产品,主要的客户包括SONY,HITACHI,AMKOR,LG, SAMSUNG等。

射频电源型号:

型号

YSR-01HD

YSR-03HDP

YSR

-06AH/AF

YSR-

10AH/AF

YSR-

15MC

YSR-

17MC

YSR-

RF03K

YSR-

50MC

输入电压

220V

3ø 220V

输出功率

100W

300W

600W

1000W

1500W

1700W

3000W

5000W

反射功率

低于10%的功率输出

输出阻抗

50

频率

2MHz or 4MHz or 13.56MHz or 27.12MHz or 40.68MHz

通讯方式

ANALOG Subminiature 15pin D-Sub & RS232 subminiature 9pin D-Sub

精度

±1%功率输出

谐波

<-55dB

电源效率

70%

输出接头

M TYPE

N TYPE

7/16 DIN TYPE

冷却方式

风冷

水冷

RF01.png RF02.png RF03.png

匹配器型号:

型号

AMN-100

AMN-120

AMN-130

AMN-150

射频范围

0~600W

0~1500W

0~3000W

0~5000W

匹配方式

2AVC

1AVC & 1VVC

2VVC

2VVC

频率

2MHz or 4MHz or 13.56MHz or 27.12MHz or 40.68MHz

输入阻抗

50

调整范围

10-1000Ω

输入接头

NR

Din(7/16inch) Type

输出接头

铜片及其它接头形式

工作方式

手动& 自动调整

匹配时间

预设后匹配时间小于2

指示符

电容位置(Load/Tune电容的位置)

冷却

风冷

风冷或水冷

水冷

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